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淺析半導(dǎo)體廢水處理的特點
發(fā)布時間：
2024-03-02
伴隨著半導(dǎo)體廢水處理技術(shù)的快速發(fā)展和消費需求的增加，半導(dǎo)體廠排出的含氟廢水急劇增加，產(chǎn)生的絡(luò)合離子種類增多。各工序所處理的廢水各不相同，其中腐蝕基材廢水以氫氟酸為主，排放量最大。為防止此類廢水對環(huán)境和生態(tài)造成污染和破壞
伴隨著半導(dǎo)體廢水處理技術(shù)的快速發(fā)展和消費需求的增加，半導(dǎo)體廠排出的含氟廢水急劇增加，產(chǎn)生的絡(luò)合離子種類增多。各工序所處理的廢水各不相同，其中腐蝕基材廢水以氫氟酸為主，排放量最大。為防止此類廢水對環(huán)境和生態(tài)造成污染和破壞，必須努力降低廢水氟含量。
半導(dǎo)體廠的廢水，種類很多，特別是含有機溶劑(用于脫脂和清洗襯底)或含氫氟酸(用于襯底腐蝕) 的氫氟酸廢水，還含有各種化合物。盡管大多數(shù)的有機溶劑得到了回收，但有些仍然混入廢水中。含氟廢水中氟化物含量較高，而含氟廢水中氟含量較低。所以，高、低氟濃度的廢水可以分別處理，也可以混雜在一起處理。
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